簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "線上遊戲".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="化學機械平坦化"


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    線上拋光墊性能監測之彩色共軛焦系統取樣分析
    • 機械工程系 /106/ 碩士
    • 研究生: 陳俊臣 指導教授: 陳亮光 陳炤彰
    • 本研究主要為研發線上拋光墊監測系統,透過彩色共軛焦量測系統架設應用於旋轉式拋光機台,利用拋光盤面的旋轉運動以及搖臂的搖擺旋轉運動,搭配彩色共軛焦系統擷取高度資訊,進行線上監測之拋光墊表面形貌的掃描及…
    • 點閱:310下載:3

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    開發線上監控量測方法與系統應用於拋光墊性能水準分析之研究
    • 機械工程系 /104/ 碩士
    • 研究生: 蔡明城 指導教授: 陳炤彰
    • CMP(Chemical-Mechanical Planarization)為化學機械平坦化製程被應用於IC製造。在半導體線寬縮減的迫切需求下,穩定性和可用性於CMP製程已成為非常重要的課題。然而目…
    • 點閱:322下載:8
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